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맥차트 하이닉스, ‘최첨단 EUV 장비’로 D램 생산

이길중
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25-09-05
2 회

맥차트 SK하이닉스가 메모리 업계에서 처음으로 양산용 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 이천 M16 공장에 반입했다고 3일 밝혔다. 치열한 반도체 경쟁 속에서 첨단 제품을 신속하게 개발·공급하기 위한 업계의 핵심 인프라 확보 움직임이 빨라지는 모습이다.
SK하이닉스가 도입한 장비는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 ‘트윈스캔 EXE:5200B’다. 차세대 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA·렌즈가 빛을 얼마나 많이 모을 수 있는지 나타내는 수치) EUV’ 가운데 대량 생산을 위한 첫 모델이다. ASML은 첨단 반도체 제조 공정에 필요한 EUV 노광장비를 생산하는 유일한 기업으로 ‘슈퍼 을’로 불린다.
해당 모델은 반도체 업계 전체에서 인텔이 가장 먼저 들여왔고, 메모리 업계에선 SK하이닉스가 처음이다. SK하이닉스는 우선 1대를 도입했다. 가격은 대당 5000억원이 넘는 것으로 전해진다. 삼성전자는 지난 3월 연구·개발용 하이 NA EUV 모델을 도입해 파운드리(위탁생산) 및 메모리 제품 개발에 활용하고 있는 것으로 알려졌다. 향후 삼성전자를 비롯한 다른 메모리 기업들도 양산용 모델을 도입할 것으로 예상된다.
EUV 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 데 사용되는 첨단 제조장비다. 네덜란드 정부가 대중국 수출을 통제하는 품목이기도 하다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 높였다. 현 수준에서 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능해 선폭 축소와 집적도 향상에 핵심 역할을 할 것으로 기대된다. 다만 새 장비가 실제 대량 생산에 활용되기까진 시간이 걸릴 것으로 보인다.
반도체 제조업체가 생산성과 제품 성능을 높이려면 미세공정 기술 고도화가 필수다. 회로를 더 정밀하게 구현할수록 웨이퍼당 칩 생산량이 늘어나고 전력 효율과 성능도 함께 개선되기 때문이다.
SK하이닉스는 2021년 10나노급 4세대 D램에 EUV를 처음 도입한 이후 최첨단 D램 제조에 EUV 적용을 확대해왔다.
새 장비는 기존 EUV 대비 40% 향상된 광학 기술로 1.7배 더 정밀한 회로 형성이 가능하고 2.9배 높은 집적도를 구현할 수 있다.
SK하이닉스는 “장비 도입으로 EUV 공정을 단순화하고 차세대 메모리 개발 속도를 높여 제품 성능과 원가 경쟁력을 확보할 방침”이라며 “고부가가치 메모리 시장에서 입지를 강화하고 기술 리더십을 공고히 할 수 있을 것”이라고 했다.
한편 인공지능(AI) 연산을 지원하는 고부가가치인 고대역폭메모리(HBM) 시장을 선점한 SK하이닉스는 올해 1분기에 이어 2분기에도 글로벌 D램 시장 1위를 차지했다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 매출 기준 2분기 점유율은 SK하이닉스가 38.7%, 삼성전자가 32.7%, 마이크론이 22.0%였다.
이날 개최된 장비 도입 기념행사에는 김병찬 ASML코리아 사장, SK하이닉스 차선용 최고기술책임자(CTO·부사장), 이병기 제조기술 담당 부사장 등이 참석했다. 김 사장은 “SK하이닉스와 긴밀히 협력해 차세대 메모리반도체 기술 혁신을 앞당길 수 있도록 적극 지원하겠다”고 밝혔다.
유치원 조리실에서 10년 넘게 일하다 폐암으로 숨진 조리실무사가 전국에서 처음으로 순직을 인정받았다.
충북교육청은 음성의 한 유치원 급식실에서 근무하다 지난해 9월 숨진 고(故) 이영미 조리실무사가 인사혁신처로부터 순직을 인정받았다고 3일 밝혔다.
음성지역 중학교와 유치원 등에서 일했던 이씨는 2021년 9월 폐암 3기 판정을 받은 뒤 산재승인을 받았다. 이후 산재 요양 중 2024년 9월 숨졌다.
유족과 공무직노조 등은 2018년부터 시행한 공무직 노동자의 순직 인정 제도를 근거로 공무상 순직을 신청했고, 최근 인사혁신처가 순직을 인정하면서 학교급식노동자 중 첫 순직 사례가 됐다.
윤건영 충북교육감은 이날 기자회견을 하고 “이번 순직 인정은 학교 급식 조리종사자들의 근무 환경과 건강 문제에 대한 사회적 경각심을 일깨우는 계기가 될 것”이라며 “제도적으로 미흡한 부분은 지속해서 정부에 건의하여 개선해 나가겠다”고 밝혔다.
이어 “학교 급식시설 및 환기 설비 개선, 노후 급식기구 교체, 조리실 여건 개선을 위한 설비 및 기구 설치 등 안전한 근무환경 조성에 더욱 노력하겠다”며 “내년부터 모든 조리 종사자를 대상으로 건강 상태를 모니터링하고 희망하는 조리 종사자 모두가 건강검진을 받을 수 있도록 확대하겠다”고 약속했다.
충북교육청은 오는 8∼12일 이씨의 순직을 기리기 위해 ‘교육공동체 추모 기간’을 운영할 예정이다.
유치원 조리실에서 10년 넘게 일하다 폐암으로 숨진 조리실무사가 전국에서 처음으로 순직을 인정받았다.
충북교육청은 음성의 한 유치원 급식실에서 근무하다 지난해 9월 숨진 고(故) 이영미 조리실무사가 인사혁신처로부터 순직을 인정받았다고 3일 밝혔다.
음성지역 중학교와 유치원 등에서 일했던 이씨는 2021년 9월 폐암 3기 판정을 받은 뒤 산재승인을 받았다. 이후 산재 요양 중 2024년 9월 숨졌다.
유족과 공무직노조 등은 2018년부터 시행한 공무직 노동자의 순직 인정 제도를 근거로 공무상 순직을 신청했고, 최근 인사혁신처가 순직을 인정하면서 학교급식노동자 중 첫 순직 사례가 됐다.
윤건영 충북교육감은 이날 기자회견을 하고 “이번 순직 인정은 학교 급식 조리종사자들의 근무 환경과 건강 문제에 대한 사회적 경각심을 일깨우는 계기가 될 것”이라며 “제도적으로 미흡한 부분은 지속해서 정부에 건의하여 개선해 나가겠다”고 밝혔다.
이어 “학교 급식시설 및 환기 설비 개선, 노후 급식기구 교체, 조리실 여건 개선을 위한 설비 및 기구 설치 등 안전한 근무환경 조성에 더욱 노력하겠다”며 “내년부터 모든 조리 종사자를 대상으로 건강 상태를 모니터링하고 희망하는 조리 종사자 모두가 건강검진을 받을 수 있도록 확대하겠다”고 약속했다.
충북교육청은 오는 8∼12일 이씨의 순직을 기리기 위해 ‘교육공동체 추모 기간’을 운영할 예정이다.
한학자 통일교 총재가 오는 8일 민중기 특별검사팀의 소환 조사를 앞두고 서울 송파구 서울아산병원에서 심장 시술을 받은 것으로 4일 확인됐다.
경향신문 취재 결과 한 총재는 지난 3일 서울아산병원 특실에 입원했고 4일 심장 시술을 받았다. 이 시술은 보통 시술 이후 하루 이틀이 지나면 퇴원할 수 있는 것으로 알려졌다. 오는 8일 특검의 소환조사 통보를 받은 만큼 한 총재가 소환조사에 응할지 주목된다.
박상진 특검보는 이날 정례브리핑에서 “저희한테는 공식적으로 어떠한 사유든 상황이든 전달된 게 없다”며 “현재로서는 8일 조사가 (진행)되기를 바라고 있다”고 밝혔다. 한 총재는 특검 측에 불출석 사유서를 내진 않은 것으로 알려졌다.
한 총재는 통일교의 각종 민원 해결을 위해 건진법사 전성배씨를 통해 김건희 여사에게 ‘8000만원대 청탁용 선물’을 전달한 최종 결재자라는 의혹을 받는다. 통일교 현안 청탁과 수억원대 불법 정치자금을 권성동 국민의힘 의원에게 전달한 혐의도 받는다. 특검은 통일교 전 세계본부장 윤영호씨의 공소장에서 “윤씨는 권 의원을 통한 소통창구를 만들었지만, 한 총재의 승인 아래 건진법사 전씨를 통해 김 여사 측에 각종 통일교 프로젝트 등에 대한 요청을 할 수 있는 소위 ‘투 트랙’을 만들기로 했다”고 적시했다.
통일교는 윤석열 정부에서 유엔 제5사무국 한국 유치, 캄보디아 메콩강 인근 부지 및 아프리카 공적개발원조(ODA) 사업, ‘새마을운동’ 아프리카 수출 지원 등을 청탁하는 시도를 한 것으로 알려졌다. 이 중 캄보디아 대외경제협력기금(EDCF) 차관 지원액이 윤석열 정부에서 7억달러에서 30억달러로 대폭 확대됐다. 윤 전 대통령은 아프리카 ODA 규모 확대를 선언하기도 했다. 김 여사는 2022년 11월 케냐 대통령 부인과의 환담에서 새마을운동을 직접 소개했다.
한편 특검이 한 총재에 대한 소환조사 통보날짜를 뒤늦게 밝힌 것을 놓고 비판이 나온다. 특검은 지난 2일 한 총재 측에 소환조사 날짜를 통보했는데 공지를 미루다가 이날 언론에 공식 확인했다. 특검 측은 “당사자에게 송달되기 전 소환 조사를 통보한 건 김 여사와 윤 전 대통령뿐이고, 송달이 안 되거나 수취 거부를 하는 등을 우려한 것으로 예외적이었다”고 해명했다. 민중기 특검은 최근 한 총재를 대리하는 법무법인 태평양 소속 판사 출신 이모 변호사를 만나 전관 특혜 논란이 제기됐다. 이 변호사는 과거 민 특검이 부장판사로 재직할 당시 배석판사를 맡았고 친분이 두터운 것으로 알려졌다.